工作了十八个小时。
真空蒸镀机是老设备,故障率高。张卫东带着两个人,已经提前检修了三遍。
“真空度达标。”
“铝丝纯度检测通过。”
“基片温度稳定。”
“可以开始。”
铝丝在高温下蒸发,在真空环境中沉积到硅片表面,形成一层极薄的金属膜。然后,通过光刻和蚀刻,把这层膜刻成需要的连线图案。
这个过程,对温度和真空度的控制要求极高。温度差几度,真空度差一点,铝膜的附着性就会出问题,导致连线断裂或短路。
机器开始运转。透过观察窗,可以看见铝丝在高温下慢慢熔化、蒸发,在硅片表面凝结成一层银白色的薄膜。
很美,像星空。
一个小时后,第一批五片晶圆完成金属化。
“快检。”陈启明急声道。
检验员小吴拿着探针台,在每片晶圆的测试结构上测量接触电阻。数据一个个报出来:
“接触电阻,1.2欧姆,合格。”
“1.5欧姆,合格。”
“0.8欧姆,合格。”
“3.6欧姆……偏高。”
“1.1欧姆,合格。”
五片里有四片合格。
“可以接受。”赵四点头,“继续。”
上午十一点,所有晶圆完成金属化。二十片里,有十六片通过了快检。
“划片。”
划片机是把整片晶圆切割成一个个小方片,每个小方片,就是一个管芯。这台设备精度要求更高,刀片转速、进给速度、冷却液流量,每一个参数都要精确控制。
一片晶圆上有上百个管芯。一刀切偏,可能废掉好几个。
操作划片机的是老工人孙师傅,干这行二十年了。他戴上老花镜,调好参数,按下启动键。
刀片高速旋转,发出尖锐的鸣响。晶圆在刀片下缓缓移动,被切割出一条条整齐的划道。
一片,两片,三片……
中午十二点,所有晶圆划片完成。一千多个管芯,像整齐的士兵,排列在承载膜上。
接下来是封装,把管芯粘在陶瓷基座上,用金丝键合机焊上引线,最后盖上封装壳。
这是最繁琐的一步,也是最考验手艺的一步。金丝只有头发丝十分之一粗,要在显微镜下,用比绣花还精细的手法,把管芯上的焊盘和基座上的引线连起来。
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